超純水管理用 高靈敏度硅表 SLIA-300
(制造單位：HORIBA Advanced Techno有限公司)
用于超純水的二氧化硅分析，具有小巧且高靈敏度的新性能。
概要
在半導(dǎo)體/FPD工藝中，超純水中的二氧化硅濃度會給產(chǎn)品精度以及原材料利用率帶來很大影響。高靈敏度硅表 SLIA-300完全能夠達(dá)到1µg/L(1ppb)等級的檢測要求。在其小巧的臺式型機身中可實現(xiàn)在整個檢測范圍內(nèi)的高靈敏度檢測。連同HORIBA享有好評的一些基本特性，例如高速響應(yīng)性以及自我診斷功能等，其值得夸耀的表現(xiàn)將靈敏度帶入了一個新的等級。SLIA-300為半導(dǎo)體/FPD制造流程中的純水工藝提供了強有力的支持。
特點
●高靈敏度、以及較高的重復(fù)性。
利用HORIBA新開發(fā)的，獨特檢測單元，SLIA-300實現(xiàn)了應(yīng)對低濃度的高靈敏度測量。通過5分鐘的高速測量，可保證在0¿2µg/L量程中實現(xiàn)全刻度±2%的重復(fù)性。

●小巧設(shè)計的臺式型。
新開發(fā)的檢測單元技術(shù)，實現(xiàn)了劃時代的小巧設(shè)計。由于是臺式型，所以可以適用于各種各樣設(shè)置條件等較小空間。也可以作為移動式使用。

●試劑的消耗量可降低80%。
采用改良型檢測單元，可以把試劑的消耗量降低到原來的80%。能夠大幅地削減試劑的經(jīng)費成本。

●最多可檢測6個點。(可選件)
支持多點檢測，SLIA-300支持的多點檢測。檢測點數(shù)可以在1和6之間進(jìn)行任意設(shè)定。

●自我診斷功能檢查運行錯誤。
該功能可對試樣水以及試劑的注入、校正、檢測單元內(nèi)溫度和光源異常等運行錯誤進(jìn)行監(jiān)測和自我診斷。如果發(fā)生錯誤，就會以報警燈顯示，同時通過文字顯示輸出信息。

●通過自動校正，實現(xiàn)良好維護(hù)性。
每次測量之前將自動進(jìn)行零點校正，除可以確認(rèn)透過光度以外，還可以修正濁度的影響。

●采用不需要更換的半永久性光源。
采用光量穩(wěn)定、 工作壽命長的單色性半導(dǎo)體光源。
超純水管理用 高靈敏度硅表
SLIA-300
(制造單位：HORIBA Advanced Techno有限公司)


規(guī)格 原理
鉬藍(lán)吸光測定法

量程
0¿2/0¿20µg/L or 0¿5/0¿50µg/L(請于訂貨時指定)

再現(xiàn)性
全刻度的±2%

測量時間
5分鐘

檢測周期
5¿995分鐘任意設(shè)定

指示標(biāo)記
¿檢測值(濃度)：3 1/2位 7段LCD
¿狀態(tài)顯示(信息)：16字×4行 點式矩陣LCD

檢測測量點數(shù)
1¿6點(請于訂貨時指定)

校正功能
標(biāo)準(zhǔn)液校正

補正功能
空白補正 稱量線補正(每條線都是獨有的)

使用的試劑
¿試藥A：硫酸+鉬酸銨
¿試藥B：草酸
¿試藥C：L(+)-抗壞血酸

更換試劑周期
1個星期(本公司推薦的時間)

電源
100 - 240V AC　50/60 Hz

最大功率
約600VA

安裝條件
室內(nèi)，環(huán)境溫度：10¿35℃，濕度：85%或更低

試料水條件
¿水 溫：15¿35℃
¿供給流量：250¿300mL/min(可以調(diào)整)
¿壓 力：0.1¿0.5MPa

外形尺寸
375(H)×580(W)×500(D) mm

重量
1個測量點 約41kg(每增加1個測量點數(shù)，重量則相應(yīng)增加1kg)

外部輸入輸出

濃度輸出
¿4¿20mA DC/0¿16mA DC/0¿1V DC(請于訂貨時指定)

接點輸出
¿ 每條線相同： 測量中、同步信號、報警信號(批次)、加熱器、關(guān)閉電源、校正信號1和2、濃度上限報警或切斷樣品水。 ¿每條線不同： 量程、濃度上限報警或切斷樣品水 (請在訂貨時指定濃度報警、切斷樣品水批次或各條線的報警。另外，報警信號內(nèi)容也要同時進(jìn)行選擇。)

接點輸入
¿ 每條線相同： 校正開始、測量開始、經(jīng)濟(jì)運轉(zhuǎn)、線的選擇、測量低量程、檢測高量程

串行輸入輸出
RS-232C

適合規(guī)格
CE標(biāo)記、FCC Part15

可選件
樣品水加熱裝置、標(biāo)準(zhǔn)液供給裝置、試藥調(diào)配用器具