質(zhì)量流量控制器 SEC-E40 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司)
適用于從微小流量到大流量控制的低成本型號
概要 適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制 適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場中，擁有眾多的銷售業(yè)績，引以為豪。 低成本：產(chǎn)品陣容中有力求具有成本優(yōu)勢的型號： SEC-E40MK3/E50MK3
技術(shù)規(guī)格 型號 SEC- (質(zhì)量流量控制器) E40/E40MK3 E50/E50MK3 SEF- (質(zhì)量流量計) E40 E50 適用氣體種類*1 非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) 氣體接觸部材質(zhì) SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 閥門型號 非通電時　關(guān)閉 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM 20/30 SLM 流量控制范圍
(適于SEC系列) 2¿100% F.S. 流量測量范圍
(適于SEF系列) 0¿100% F.S. 響應(yīng)速度 1秒以內(nèi)(T98) 流量精度 ±1% F.S. 直線性 ±0.5% F.S. 反復(fù)性 ±0.2% F.S. 工作差壓值值
(適于SEC系列) 10 SCCM¿5 SLM：50¿300kPa(d)　10¿30 SLM:100¿300kPa(d) 使用壓力
(適于SEF系列) 300kPa(G)以下 耐　壓 1MPa(G)以下 外部泄漏率 1×10-8Pa¿m3/s(He)以下 使用環(huán)境溫度 5¿50℃(精度的確保：15¿35℃) 流量設(shè)定信號 0.1¿5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2¿100% F.S. 流量輸出信號 0¿5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 驅(qū)動電源 +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA ＋15VDC ±5% 50mA ¿15VDC ±5% 200mA 3.9VA 標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 1/4SWL 類型

型號 SEC- (質(zhì)量流量控制器) E60 E70 E80 SEF- (質(zhì)量流量計) E60 E70 E80 適用氣體種類*1 N2、O2、Air、H2、Ar、C3H8、CH4、C4H10 N2、O2、Air、H2 氣體接觸部材質(zhì) SUS316.氟化橡膠、磁性不銹鋼 閥門型號 非通電時　關(guān)閉 標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.) 50/100 SLM 200 SLM 300/500 SLM 流量控制范圍 (適于SEC系列) 5¿100% F.S. 流量測量范圍 (適于SEF系列) 0¿100% F.S. 響應(yīng)速度 1秒以內(nèi)(T98) 2秒以內(nèi)(T98) 流量精度 ±1% F.S. ±2% F.S. 直線性 ±0.5% F.S. ±1% F.S. 反復(fù)性 ±0.5% F.S. ±1% F.S. 工作差壓值值(適于SEC系列) 100¿300kPa(d) 200¿350kPa(d) 使用壓力 (適于SEF系列) 350kPa(G)以下 耐　壓 1MPa(G)以下 外部泄漏率 1×10-7Pa¿m3/s(He)以下 450kPa(G)加壓10分鐘減壓1%以內(nèi) 使用環(huán)境溫度 5¿45℃(精度的確保：15¿35℃) 流量設(shè)定信號 0.25¿5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/5¿100% F.S. 流量輸出信號 0¿5VDC(最小負(fù)荷電阻2kΩ) 驅(qū)動電源 ＋15VDC ±5% 50mA ¿15VDC ±5% 200mA 3.9VA 標(biāo)準(zhǔn)接頭*2 3/8SWL 類型 1/2SWL 類型載以外的內(nèi)容，請另行咨詢協(xié)商。（單位：mm） 型式 H T W I
(1/4 VCR)
I
(1/4 SWL)
I
(3/8 VCR)
I
(3/8 SWL)
A B C D E SEC-Z512MG 126 28 63.8 106 21.9 20 6.5 15 12.7 SEC-Z514MG 126 28 63.8 106 21.9 20 6.5 15 12.7 SEC-Z522MG 143 38.5 63.8 106 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 12.7 SEC-Z524MG 143 38.5 63.8 106 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 12.7 SEC-Z11D 127 28.5 81.8 - ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 - SEC-Z12D 127 28.5 81.8 - ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 - SEC-Z11DW 140 38.6 63.8 106 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 12.7 SEC-Z12DW 140 38.6 63.8 106 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 12.7 SEC-Z13DW 172 80 125 177 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 20 SEC-F730 106 35 64.2 106 *2 22.1 20 10 15 12.7 SEC-F740 126 35 64.2 106 *2 22.1 20 10 15 12.7 SEC-F750 140 40 64.2 106 *2 118 19.4 25 7.5 25 12.7 SEC/SEF-V110DM 116.5 37.6 63.8 106 *2 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 12.7 SEC/SEF-V120DM 116.5 37.6 63.8 106 *2 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 12.7 SEC-7320 106 28 63.8 106 *2 110 21.9 20 6.5 15 12.7 SEC/SEF-7330 106 28 63.8 106 *2 127 21.9 20 6.5 15 12.7 SEC-7340(LD) 126 28 63.8 106 *2 127 21.9 20 6.5 15 12.7 SEC/SEF-7350 140 34 63.5 106 *2 127 19.2 25 4.5 25 12.7 SEC/SEF-7355 145 49 80.8 124 132 135 20.4 40 12 25 20 SEF-7140 106 32 47 87 27.6 0 9 14 12.7 SEC/SEF-4400(MF) 126 32 76 124 127 19 38.1 6.75 18.5 12.7 SEC/SEF-4500(MF) 132 32 108 156 159 20.2 67.7 3.7 24.6 IN14.6 OUT12 SEC/SEF-4550 150 50 108 156 159 160 163 20.1 67.7 12.7 24.6 IN14.6 OUT12 SEC/SEF-4600 150 80 125 177 179 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 20 SEC-4400SP/SR 126 32 76 124 19 38.1 6.75 18.5 12.7 SEC-4401(MF) 126 32 76 124 19 38.1 6.75 18.5 12.7 SEC-4501(MF) 132 32 108 156 164 20.2 67.7 3.7 24.6 IN14.6 OUT12 SEC-E440J 112 38 76.2 124 127 19.1 38.1 9.75 18.5 12.7 SEC-E450J 112 38 76.2 124 127 19.1 38.1 9.75 18.5 12.7 SEC-E40(MK3) 126 32 76 127 3.5 69 6.75 18.5 12.75 SEC-E50(MK3) 126 32 76 127 3.5 69 6.75 18.5 12.75 SEC-E60 159 44 95 150.8 3.5 50 8 28 22 SEC-E70 159 44 95 150.8 3.5 50 8 28 22 SEC/SEF-6470 *1 147 40 150 - 45 - 20 35 SEC/SEF-6480 *1 152.5 108 204 - - - - 50 SEC-8340 130.5 48 76 124 127 19 38.1 6.75 18.5 22.7 SEC/SEF-8440 120.5 32 76 124 127 19 38.1 6.75 18.5 12.7 SEC/SEF-8450 127 32 108 156 159 20.2 67.7 3.7 24.6 IN14.6 OUT12 SEC/SEF-8455 150 50 108 156 159 160 163 20.1 67.7 12.7 24.6 IN14.6 OUT12 SEC/SEF-8460 150 80 125 172 172 177 179 31.5 80 15 50 20 SEC/SEF-2410 122 25.5 76 124 131 3.5 69 3.5 18.5 12.7 SEC/SEF-2510 131.5 32 108 156 163 17.2 101.6 9.3 25.4 IN14.6 OUT12 SEC/SEF-2551 137 44 136 184 191 30 80 33.5 - IN14.6 OUT12 SEC/SEF-310 80 20 60 106 110 20 20 10 - 10 SEC/SEF-320 80 20 60 106 110 20 20 10 - 10 SEC/SEF-400 122 25.5 76 124 127 131 131 3.5 69 3.5 18.5 12.7 SEC/SEF-500 131.5 32 108 156 160 163 163 9 80 3.7 24.6 IN14.6 OUT12 SEC/SEF-550 137 44 136 184 188 191 190 17.2 101.6 9.3 25.4 14.9 SEC/SEF-600 *1 140 67 122 170 173 177 175 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 ※1 參照 20 SEC-400MK2¿3 115.5 25.5 76 124 127 131 3.5 69 3.5 18.5 12.7 SEC-500MK2¿3 125 32 108 156 160 163 163 9 90 3.7 24.6 IN14.6 OUT12