在線型溶解臭氧監(jiān)測儀 OZ-96i
(制造商：HORIBA Advanced Techno,Co.,Ltd. )

概要
監(jiān)測半導體制造工藝中清洗、形成氧化膜等作業(yè)中所使用的臭氧水濃度。它是直接安裝在主配管中、可以進行連續(xù)監(jiān)測的臭氧水濃度監(jiān)測儀。不需要用旁通管路來進行檢測。本產(chǎn)品通過臭氧發(fā)生裝置以及對使用點進行近似測量。
特點
可以安裝在線內(nèi)
可以選擇3種配管直徑
可以設定任意值的傳送輸出
可以切換小數(shù)點以下位數(shù)
零點穩(wěn)定性
小巧的傳感器尺寸
0.5Mpa的耐壓性
遠程零點校正功能
在接液部材質(zhì)方面使用PFA/熔凝石英玻璃/PTFE

外形尺寸圖
●轉(zhuǎn)換器 OZ-96i


●傳感器 CZ-10i/40i/100i/200i/300i


面板截面尺寸


規(guī)格 測量對象
純水中的臭氧濃度
測量原理
UV吸收法(254nm)
測量范圍
CZ-10i：0¿10mg/L CZ-40i：0¿40mg/L CZ-100i：0¿100mg/L CZ-200i：0¿200mg/L CZ-300i：0¿300mg/L
再現(xiàn)性
全刻度的±2%以內(nèi)
穩(wěn)定性
零點飄移：全刻度±0.05%/天以內(nèi)
傳送輸出
DC4¿20mA或者0¿16mA 隔離輸入輸出型　最大負荷電阻600Ω
傳送輸出范圍
測量范圍的-10%到+110%之間的任意值
觸點輸出
3ch a接點輸出
電容：DC24V、1Amax(電阻負荷)
根據(jù)上限/下限/FAIL/UV LOW報警分配功能
報警延遲時間設定：校正/重置選擇時0¿60秒保持
遠程零點校正判定信號：零點校正如果正常，當零點校正指令被輸入時接點被關(guān)閉。
接點輸入
接收到零點校正指令后立即開始校正。信號接收時間保持處理
附加功能
零點校正、全幅靈敏度校正、全幅檢驗、信號水平檢驗功能
周圍溫度濕度
5¿40℃　85%RH或更低 (樣品配管如果有冷凝物時請予以清除。)
電源
DC24V15W
轉(zhuǎn)換器構(gòu)造
面板安裝固定型：DIN96×96
室內(nèi)安裝型 外盒：SUS304　
面板：ABS
外形尺寸
轉(zhuǎn)換器：96(H)×96(W)×145(D) mm 檢測器：80(H)×159(W)×154(D) mm　(不包括突起部)
質(zhì)量
轉(zhuǎn)換器：約700g　
檢測器：約2kg
樣品條件
壓力：0.5MPa以內(nèi)
流量：1/2英寸：10L/min 3/4英寸：40L/min 1英寸：100L/min
檢測器
光源結(jié)構(gòu)：低壓水銀燈
檢測器：硅光電池
接液部材質(zhì)：PFA/熔凝石英/PTFE
樣品配管
標準：PFA3/4英寸 可選件：1/2英寸¿1英寸管
空氣排空入口
Φ6管　流量100mL/min
附件
專用電纜線：ZK-05　標準5m，　可選件3m、10m、20m
消耗品
低壓水銀燈：壽命2年(保修1年)