壓電閥 PV 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司.)
概要
它內(nèi)置有高速響應(yīng)的壓電閥，接氣部采用了全金屬構(gòu)造，最適于超清潔類型的高純度氣體供應(yīng)系統(tǒng)。
通過金屬封口方式實現(xiàn)了超低泄漏
不僅可進行氣體的流量控制，而且還可以進行液體的流量控制
技術(shù)規(guī)格 PV-1000 流量量程 1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口端為大氣壓力、出口端為真空、以N2換算) 流量控制范圍 全標度的2¿100% 閥門方式 常開/關(guān)閉型 控制輸入1 0¿5VDC 響應(yīng)性 0.5秒以內(nèi) 使用溫度 0¿50℃ 使用壓力 最大值.300kPa 耐壓 1MPa 泄漏規(guī)格 5×10-12Pa¿m3(He)
PV-2000 流量量程 10/20 LM (入口端為大氣壓力、出口端為真空、以N2換算) 流量控制范圍 全標度の2¿100% 閥門方式 常開/關(guān)閉型 控制輸入1 0¿5VDC 響應(yīng)性 0.5秒以內(nèi) 使用溫度 0¿50℃ 使用壓力 最大值.300kPa 耐壓 1MPa 泄漏規(guī)格 5×10-12Pa¿m3(He)
外形尺寸（單位：mm）
PV-1000 PV-2000 A 25.0±1 32.0±1 B 118.5±2 125.5±2 C 14.0 16.75 D 42.0 47.5
(制造單位：HORIBA STEC有限公司.)
概要
它內(nèi)置有高速響應(yīng)的壓電閥，接氣部采用了全金屬構(gòu)造，最適于超清潔類型的高純度氣體供應(yīng)系統(tǒng)。
通過金屬封口方式實現(xiàn)了超低泄漏
不僅可進行氣體的流量控制，而且還可以進行液體的流量控制
技術(shù)規(guī)格 PV-1000 流量量程 1/5/100/200/500 CCM 1/2/5 LM (入口端為大氣壓力、出口端為真空、以N2換算) 流量控制范圍 全標度的2¿100% 閥門方式 常開/關(guān)閉型 控制輸入1 0¿5VDC 響應(yīng)性 0.5秒以內(nèi) 使用溫度 0¿50℃ 使用壓力 最大值.300kPa 耐壓 1MPa 泄漏規(guī)格 5×10-12Pa¿m3(He)
PV-2000 流量量程 10/20 LM (入口端為大氣壓力、出口端為真空、以N2換算) 流量控制范圍 全標度の2¿100% 閥門方式 常開/關(guān)閉型 控制輸入1 0¿5VDC 響應(yīng)性 0.5秒以內(nèi) 使用溫度 0¿50℃ 使用壓力 最大值.300kPa 耐壓 1MPa 泄漏規(guī)格 5×10-12Pa¿m3(He)
外形尺寸（單位：mm）
PV-1000 PV-2000 A 25.0±1 32.0±1 B 118.5±2 125.5±2 C 14.0 16.75 D 42.0 47.5
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