SC-2濃度計 CS-152

概要
CS-152高精度化學藥液濃度計專為半導體制造時清洗制程中所使用的SC-1溶液而設計。實現(xiàn)了過去所沒有的高速響應性和小巧化，可用于監(jiān)測清除金屬離子時所使用的SC-2溶液(HCl/H2O2/H2O)中的各成分濃度。依據(jù)濃度計的輸出而進行的反饋控制，可以確保SC-1溶液的濃度保持在允許范圍內，同時，還可以避免不必要的藥液更換工作。由于測量周期短，可以精確地跟蹤濃度變化，小巧化設易于組裝到清洗裝置中。

特點
¿監(jiān)測周期大約為3秒，支持300mm工藝的濃度管理。
實現(xiàn)了以大約3秒這樣短的測量周期，大幅提高了濃度的實時跟蹤性。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。

¿小巧設計有利于清洗裝置節(jié)省空間
由于底面面積只有原來的2/3(※)左右，這種小巧化設計有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
*與本公司產(chǎn)品CS-342系列進行比較

¿通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量
通過濃度計的信號輸出，進行SC-2溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。

¿全自動監(jiān)測與簡易控制
用戶只需引入SC-2溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。

¿通過采取全面的氣泡對策，可監(jiān)測高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內的發(fā)生次數(shù)抑制在最低限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。

¿采用DC24V，實現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應等，采取緊急措施。
SC-2濃度計
CS-152


技術規(guī)格 型號 CS-152 CS-152C 型號和規(guī)格 無冷卻器 冷卻器一體型 監(jiān)測對象 SC-2(鹽酸/過氧化氫水溶液) 測量原理 吸收光譜測定法 濃度計算的原理: 溫度補償型多變量解析法 量程 鹽酸：0.00¿2.00%/0.00¿10.00%
過氧化氫：0.00¿2.00%/0.00¿10.00%
水：96.0¿100.0%/80.0¿100% 再現(xiàn)性 鹽酸：±0.15%/±0.20%
過氧化氫：±0.15%/±0.20%
水：±1.5%/±1.5% 藥液條件 溫度 20¿30℃ 20¿80℃ 流量 20¿60mL/min 20¿40mL/min 壓力 0.10¿0.20MPa 監(jiān)測周期 最短約3秒 設置溫度 20¿25℃ 操作面板 1)溫度檢測值的顯示：鹽酸、過氧化氫、水
2)報警信號的顯示(鹽酸、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
3)報警信號值的設定(鹽酸、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 串行輸入 RS-232C
1)濃度數(shù)據(jù)：鹽酸、過氧化氫、水
2)報警信號值的設定(鹽酸、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 并行輸入 DC12¿30V(光耦合器絕緣)
并行濃度報警(有效/無效) 并行輸出 開路集電極輸出為ON時最大電流：5mA；為OFF時的最大電壓：30V
1)報警信號輸出(鹽酸、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
2)裝置異常(包括漏液在內)、3)檢測中 模擬輸出 4¿20mA( 2輸出：HCl濃度、H2O2濃度的2輸出)
*關于電流輸出的量程技術規(guī)格，可以根據(jù)客戶要求的規(guī)格來制定。(請在訂貨時指定) 電源 DC24V±10% 2A 外形尺寸 205(W)×329(D)×269(H)mm 291(W)×329(D)×269(H)mm 質量 約11kg 約12kg 連接配管尺寸 導入用、排出用：外徑為3mm(內徑為2mm) 配管接頭 Nippon Pillar Super型 必要的設備 氣閥驅動用檢測設備氣體：0.3¿0.5MPa(配管外徑:4mm)
有關上述以外的檢測范圍，請另行咨詢協(xié)商。

設置例





外觀圖