直接注入 VC 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司)
由于是無載體類型，所以可以構(gòu)筑小型氣化系統(tǒng)
概要
由于通過質(zhì)量流量來測(cè)定發(fā)生量，所以可以不必受到溫度¿壓力的影響進(jìn)行液體材料的氣化供給。
超小型 ： 只有原來的1/5
高速完全氣化 ： 可以瞬間完全氣化被供應(yīng)的液體。
安裝固定方向自由 ：無論在哪一個(gè)安裝固定方向，都可以保持相應(yīng)功能。
不需要?dú)馀菔饺萜鳌饣萜?
技術(shù)規(guī)格 VC-1310 產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時(shí)) 不滿1.0 CCM (液相的換算) ※1 對(duì)象液體種類 會(huì)腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外 可升溫溫度 最大值.150℃ 接氣部材質(zhì) SUS-316L (PTFE) 耐壓 1.0MPa(G) VC-1310 產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時(shí)) 最大值.5.0 CCM不到 (液相的換算) ※1 對(duì)象液體種類 會(huì)腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外 或升溫溫度 最大值.150℃ 接氣部材質(zhì) SUS-316L (PTFE) 耐壓 1.0MPa(G)※1 不同的液體種類將會(huì)有所差異。請(qǐng)進(jìn)行咨詢協(xié)商。
外形尺寸（單位：mm）
(制造單位：HORIBA STEC有限公司)
由于是無載體類型，所以可以構(gòu)筑小型氣化系統(tǒng)
概要
由于通過質(zhì)量流量來測(cè)定發(fā)生量，所以可以不必受到溫度¿壓力的影響進(jìn)行液體材料的氣化供給。
超小型 ： 只有原來的1/5
高速完全氣化 ： 可以瞬間完全氣化被供應(yīng)的液體。
安裝固定方向自由 ：無論在哪一個(gè)安裝固定方向，都可以保持相應(yīng)功能。
不需要?dú)馀菔饺萜鳌饣萜?
技術(shù)規(guī)格 VC-1310 產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時(shí)) 不滿1.0 CCM (液相的換算) ※1 對(duì)象液體種類 會(huì)腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外 可升溫溫度 最大值.150℃ 接氣部材質(zhì) SUS-316L (PTFE) 耐壓 1.0MPa(G) VC-1310 產(chǎn)生流量 (TEOS發(fā)生時(shí)) 最大值.5.0 CCM不到 (液相的換算) ※1 對(duì)象液體種類 會(huì)腐蝕不銹鋼的HCl、HF等液體除外 或升溫溫度 最大值.150℃ 接氣部材質(zhì) SUS-316L (PTFE) 耐壓 1.0MPa(G)※1 不同的液體種類將會(huì)有所差異。請(qǐng)進(jìn)行咨詢協(xié)商。
外形尺寸（單位：mm）
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