SPM監(jiān)測(cè)儀 CS-150

概要
CS-150是半導(dǎo)體制造中清洗工藝的SPM溶液用于高精度藥液濃度的監(jiān)測(cè)儀，實(shí)現(xiàn)了過(guò)去所沒(méi)有的高速響應(yīng)性和小巧化?？梢詫?shí)時(shí)檢測(cè)金屬離子以及有機(jī)物的清除作業(yè)中所使用的SPM溶液(H2SO4/H2O2/H2O)各成分濃度，通過(guò)報(bào)警信號(hào)通知自動(dòng)補(bǔ)給的時(shí)間。由于實(shí)現(xiàn)了高速響應(yīng)性和短的檢測(cè)周期，可以忠實(shí)地跟蹤濃度變化，并且，由于小巧化設(shè)計(jì)，可以更容易組裝到清洗裝置中。

特點(diǎn)
¿以大約3秒的檢測(cè)周期支持300mm工藝的濃度管理。
實(shí)現(xiàn)了約3秒這樣短的檢測(cè)周期。大幅提高了濃度的實(shí)時(shí)跟蹤性。支持多徑方式和單徑方式清洗裝置詳細(xì)的濃度管理。

¿小巧設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間
底面面積只有原先的2/3(*)左右，這樣的小巧化設(shè)計(jì)有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
*與本公司產(chǎn)品CS-340比較

¿通過(guò)減少清洗工藝中的批次不良，提高了原材料利用率
通過(guò)使用監(jiān)測(cè)輸出，進(jìn)行SPM溶液的補(bǔ)給控制，從而實(shí)現(xiàn)高重現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而有利于提高原材料利用率。

¿通過(guò)全自動(dòng)檢測(cè)，實(shí)現(xiàn)了簡(jiǎn)易管理
用戶只需要引入SPM溶液即可。由于檢測(cè)是全自動(dòng)方式，所以開(kāi)始檢測(cè)后不需要進(jìn)行任何控制。并且，參照光譜檢測(cè)由于使用空氣，所以不需要利用水。

¿通過(guò)采取萬(wàn)無(wú)一失的氣泡對(duì)策，可以進(jìn)行連續(xù)檢測(cè)
由于內(nèi)置有脫泡功能，在快到檢測(cè)池時(shí)分離氣泡，從而可以在液體流動(dòng)的狀態(tài)下連續(xù)檢測(cè)。

¿采用DC24V，實(shí)現(xiàn)了高安全性
電源采用了低電壓DC24V，只有大約45W，相對(duì)于觸電事故的安全性和節(jié)電效果提到了進(jìn)一步提高。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時(shí)可以切斷SPM溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。

SPM監(jiān)測(cè)儀
CS-150



技術(shù)規(guī)格
型號(hào): CS-150 CS-150C 型號(hào)和技術(shù)規(guī)格: 沒(méi)有冷卻器 冷卻器一體型 檢測(cè)對(duì)象: SPM(硫酸/過(guò)氧化氫水溶液) 檢測(cè)原理: 吸收分光法 濃度計(jì)算的原理: 溫度補(bǔ)償型多變量解析法 檢測(cè)范圍
(質(zhì)量%): 硫酸：50.0¿90.0%
過(guò)氧化氫：0.00¿10.00%
水：0.0¿50.0% 重現(xiàn)精度
(室溫變化±1℃以內(nèi))
(質(zhì)量%): 硫酸：±0.5%
過(guò)氧化氫：±0.50%
水：±1.5% 藥液條件 溫度 20¿30℃ 20¿60℃ 流量 20¿60mL/min 20¿40mL/min 壓力 0.10¿0.20MPa 檢測(cè)周期: 最小約3秒 設(shè)置溫度: 20¿25℃ 操作面板: 1)溫度檢測(cè)值的顯示：硫酸、過(guò)氧化氫、水
2)報(bào)警信號(hào)的顯示(硫酸、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
3)報(bào)警信號(hào)值的設(shè)定(硫酸、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 串行輸入: RS- 232C
1)濃度數(shù)據(jù)：硫酸、過(guò)氧化氫、水
2)報(bào)警信號(hào)值的設(shè)定(硫酸、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限 并行輸入: DC12¿30V(光耦合器絕緣)
并行濃度警報(bào)(有效/無(wú)效) 并行輸出: 開(kāi)路集電極輸出ON時(shí)最大電流：5mA；OFF時(shí)最大電壓：30V
1)報(bào)警信號(hào)輸出(硫酸、過(guò)氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
2)裝置異常(包括漏液在內(nèi))、3 )檢測(cè)中 模擬輸出: 4¿20mA (硫酸：50.0¿100.0%/過(guò)氧化氫：0.00¿10.00%)
*關(guān)于電流輸出的量程技術(shù)規(guī)格，可以根據(jù)客戶要求的技術(shù)規(guī)格來(lái)設(shè)定。(請(qǐng)?jiān)谟嗁?gòu)時(shí)指定) 電源: DC24V±10% 2A 外形尺寸: 205(W)×329(D)×269(H) 291(W)×329(D)×269(H) 質(zhì)量: 約11kg 約12kg 連接配管尺寸: 引入用、排出用外徑均為6mm(內(nèi)徑均為4mm) 配管接頭: 日本柱狀超級(jí)類型
有關(guān)上述以外的檢測(cè)范圍，請(qǐng)另行咨詢協(xié)商。


設(shè)置例








外觀圖