日本西格瑪精密壓電陶瓷平臺SFS-H60Z
特征：
SFS-H 系列是在原來的SFS 系列的基礎(chǔ)上，提高了承載能力和響應(yīng)速度而開發(fā)的壓電陶瓷平臺。 它采用壓電陶瓷作為驅(qū)動件，可以實現(xiàn)開環(huán)控制時的行程為90µm-100µm，理論分辨率為1nm 的微小移動。采用了位移傳感器（頻率-位移轉(zhuǎn)換方式的小位移傳感器），在閉環(huán)控制時，實現(xiàn)了10nm 的顯示分辨率。 和FINE 系列控制器一起使用，可以實現(xiàn)優(yōu)于0.5%的直線性和高速化。SFS-H60X、40X 可以實現(xiàn)往復(fù)運動的頻率為10-15Hz（全行，閉環(huán)控制時）。 這是一款最適用于需要高速，高精度定位的裝置或?qū)嶒炗猛镜钠脚_。 注意
此平臺的技術(shù)參數(shù)是指環(huán)境溫度為20 ± 1 ℃時的值。請在使用之前仔細閱讀操作說明書和安裝手冊等資料。 技術(shù)指標(biāo)是指單個平臺時的測量值，而不是和其他零部件組合后的測量值。 技術(shù)指標(biāo)是指在額定載荷，并且是在平臺中心承載時的值，而不是指偏載時的值。 精度值是平臺正常水平安裝使用時的值，如果您需要倒置或垂直使用，請事先向我們確認(rèn)。 精度值是指平臺臺面附近的值。 行程是指開環(huán)控制時的值。 直線性精度依據(jù)的是西格瑪光機的測量法。 重復(fù)定位精度是閉環(huán)控制，采樣時間為350¿s 時的值。 分辯率是使用FINE-01 或503 時的值。 規(guī)格：
行程（細調(diào)）【um】
自重【kg】
理論分辨率（開環(huán)時）【nm】
分辯率（閉環(huán)時）【nm】
直線性誤差（%）
直線度水平方向【um】
重復(fù)定位精度【um】
承載能力【kg】
型號
100±15
0.33
1
10
0.3以下
1以下
0.1以下
1
SFS-H60Z
100±15
0.63
1
10
0.5以下
1以下
0.15以下
1
SFS-H60XYZ
特征：
SFS-H 系列是在原來的SFS 系列的基礎(chǔ)上，提高了承載能力和響應(yīng)速度而開發(fā)的壓電陶瓷平臺。 它采用壓電陶瓷作為驅(qū)動件，可以實現(xiàn)開環(huán)控制時的行程為90µm-100µm，理論分辨率為1nm 的微小移動。采用了位移傳感器（頻率-位移轉(zhuǎn)換方式的小位移傳感器），在閉環(huán)控制時，實現(xiàn)了10nm 的顯示分辨率。 和FINE 系列控制器一起使用，可以實現(xiàn)優(yōu)于0.5%的直線性和高速化。SFS-H60X、40X 可以實現(xiàn)往復(fù)運動的頻率為10-15Hz（全行，閉環(huán)控制時）。 這是一款最適用于需要高速，高精度定位的裝置或?qū)嶒炗猛镜钠脚_。 注意
此平臺的技術(shù)參數(shù)是指環(huán)境溫度為20 ± 1 ℃時的值。請在使用之前仔細閱讀操作說明書和安裝手冊等資料。 技術(shù)指標(biāo)是指單個平臺時的測量值，而不是和其他零部件組合后的測量值。 技術(shù)指標(biāo)是指在額定載荷，并且是在平臺中心承載時的值，而不是指偏載時的值。 精度值是平臺正常水平安裝使用時的值，如果您需要倒置或垂直使用，請事先向我們確認(rèn)。 精度值是指平臺臺面附近的值。 行程是指開環(huán)控制時的值。 直線性精度依據(jù)的是西格瑪光機的測量法。 重復(fù)定位精度是閉環(huán)控制，采樣時間為350¿s 時的值。 分辯率是使用FINE-01 或503 時的值。 規(guī)格：
行程（細調(diào)）【um】
自重【kg】
理論分辨率（開環(huán)時）【nm】
分辯率（閉環(huán)時）【nm】
直線性誤差（%）
直線度水平方向【um】
重復(fù)定位精度【um】
承載能力【kg】
型號
100±15
0.33
1
10
0.3以下
1以下
0.1以下
1
SFS-H60Z
100±15
0.63
1
10
0.5以下
1以下
0.15以下
1
SFS-H60XYZ
日本西格瑪 SIGMA KOKI廣州代理商,西格瑪 SIGMA KOKI廣州總代理,藤野貿(mào)易廣州有限公司代理
日本西格瑪 SIGMA KOKI廣州代理商,西格瑪 SIGMA KOKI廣州總代理,藤野貿(mào)易廣州有限公司代理
日本西格瑪 SIGMA KOKI廣州代理商,西格瑪 SIGMA KOKI廣州總代理,藤野貿(mào)易廣州有限公司代理
