SIGMA KOKI西格瑪光機(jī) XYZθαβ軸TSD直動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)品描述
特征：
6軸方向微調(diào)精密平臺(tái)。
XY軸軸承鋼制平臺(tái)，Ｚ軸薄軸承鋼制平臺(tái)，θ軸粗微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)，小型αβ軸擺動(dòng)平臺(tái)，與αβ軸擺動(dòng)平臺(tái)組成。
型號(hào)末尾為SC的平臺(tái)的XY軸平臺(tái)的測(cè)微頭在中間，末尾為ES的平臺(tái)的XY軸平臺(tái)的測(cè)微頭在側(cè)面。
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)
臺(tái)面尺寸
[mm]
行程
[mm
轉(zhuǎn)動(dòng)范圍
擺動(dòng)角度范圍
[°]
擺動(dòng)中心高度
[mm]
承載能力Fz分
[N]
剛度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-40EC
40 x 40
XY軸：±6.5
Z軸：±3
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
α軸±15
β軸±20
35
49.0 （5.0kgf）
-
1.23
TSD-40ES
40 x 40
XY軸：±6.5
Z軸：±3
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
α軸±15
β軸±20
35
49.0 （5.0kgf）
-
1.23
TSD-60EC
60 x 60
XY軸：±6.5
Z軸：±5
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
α軸±10
β軸±15
84
98.1 （10.0kgf）
-
4.95
TSD-60ES
60 x 60
XY軸：±6.5
Z軸：±5
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
α軸±10
β軸±15
84
98.1 （10.0kgf）
-
4.95
特征：
6軸方向微調(diào)精密平臺(tái)。
XY軸軸承鋼制平臺(tái)，Ｚ軸薄軸承鋼制平臺(tái)，θ軸粗微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)，小型αβ軸擺動(dòng)平臺(tái)，與αβ軸擺動(dòng)平臺(tái)組成。
型號(hào)末尾為SC的平臺(tái)的XY軸平臺(tái)的測(cè)微頭在中間，末尾為ES的平臺(tái)的XY軸平臺(tái)的測(cè)微頭在側(cè)面。
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)
臺(tái)面尺寸
[mm]
行程
[mm
轉(zhuǎn)動(dòng)范圍
擺動(dòng)角度范圍
[°]
擺動(dòng)中心高度
[mm]
承載能力Fz分
[N]
剛度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-40EC
40 x 40
XY軸：±6.5
Z軸：±3
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
α軸±15
β軸±20
35
49.0 （5.0kgf）
-
1.23
TSD-40ES
40 x 40
XY軸：±6.5
Z軸：±3
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
α軸±15
β軸±20
35
49.0 （5.0kgf）
-
1.23
TSD-60EC
60 x 60
XY軸：±6.5
Z軸：±5
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
α軸±10
β軸±15
84
98.1 （10.0kgf）
-
4.95
TSD-60ES
60 x 60
XY軸：±6.5
Z軸：±5
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
α軸±10
β軸±15
84
98.1 （10.0kgf）
-
4.95
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