采用真空鍍膜法,在平面基板表面,鍍上一層鋁膜而成的全反射鏡。
從可見光到紅外,此類產(chǎn)品都有很高的反射率,而且?guī)缀醪皇苋肷浣堑挠绊憽?
可以提供純鋁膜反射鏡和覆蓋了氟化鎂(MgF2)或二氧化硅(SiO2)保護(hù)膜的鋁膜反射鏡。
氟化鎂(MgF2)保護(hù)膜防止劃傷及氧化。但其反射率比純鋁膜要低一些。
以可見光波長段的反射率最大為目標(biāo),對氟化鎂(MgF2)保護(hù)膜進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計。
向?qū)?br/> 鍍多層電介質(zhì)膜代替氟化鎂保護(hù)膜,這樣可提高反射率5%左右。盡管層數(shù)不多,但因是電介質(zhì)多層膜,制造時需要指定使用的波長,入射角等參數(shù)。
控制鋁膜反射鏡的氟化鎂(MgF2)保護(hù)膜的厚度,可以實(shí)現(xiàn)在紫外區(qū)域達(dá)到最大的反射率(約85%)。
注意
反射率曲線是樣品的實(shí)測值,而且可能隨制造批次不同而變化。
檢查光路和調(diào)整光軸時,請一定戴好激光防護(hù)鏡。
面精度是鍍膜前的反射波面精度。
Pyrex¿(派來克斯玻璃)是康寧公司的注冊商標(biāo)。
材料
BK7
SFS(人造熔融石英玻璃)
Pyrex¿(派來克斯玻璃¿)
光學(xué)膜
Al+MgF2(鋁膜+氟化鎂保護(hù)膜) :TFA,TFAQ (λ/4, λ/10)
Al+SiO(鋁膜+氧化硅保護(hù)膜) :TFA,TFAQ (λ/20)
Al (鋁膜) :TFAN,TFAQN
面精度測量法
采用ZYGO公司激光干涉儀測量基板
面精度測量用波長
632.8nm
平行度
≤3分
表面質(zhì)量
40-20
有效尺寸范圍
實(shí)際尺寸的90%
入射角
45°
技術(shù)參數(shù):
型號
類型
寸尺
[mm]
t
[mm]
材料
面精度
反面狀態(tài)
TFA-50C08-10
圓形
¿50
8
BK7
λ/10
光面
TFAQ-50C10-20
圓形
¿50
10
SFS
λ/20
光面
TFAQN-50C10-20
圓形
¿50
10
SFS
λ/20
光面
TFA-60C10-1
圓形
¿60
10
Pyrex¿
λ
光面
TFAN-60C10-1
圓形
¿60
10
Pyrex¿
λ
光面
TFA-60C10-4
圓形
¿60
10
Pyrex¿
λ/4
光面
TFAN-60C10-4
圓形
¿60
10
Pyrex¿
λ/4
光面
TFA-60S10-4
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/4
光面
TFAN-60S10-4
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/4
光面
TFA-60S10-10
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/10
光面
TFAN-60S10-10
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/10
光面
TFA-60S10-20
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/20
光面
TFAN-60S10-20
方形
□60
10
Pyrex¿
λ/20
光面
TFA-80S12-1
方形
□80
12
Pyrex¿
λ
光面
TFAN-80S12-1
方形
□80
12
Pyrex¿
λ
光面
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