SIGMA KOKI西格瑪光機(jī) XYZθα軸TSD直動(dòng)平臺(tái)產(chǎn)品描述
特征：
5軸方向微調(diào)精密平臺(tái)。
由XY軸軸承鋼制平臺(tái)，Ｚ軸薄軸承鋼制平臺(tái)，θ軸粗微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)，小型α軸擺動(dòng)平臺(tái)，與α軸擺動(dòng)平臺(tái)組成。
型號(hào)末尾為DC的平臺(tái)的XY軸平臺(tái)的測(cè)微頭在中間，末尾為DS的平臺(tái)的XY軸平臺(tái)的測(cè)微頭在側(cè)面。
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)
臺(tái)面尺寸
[mm]
行程
[mm
轉(zhuǎn)動(dòng)范圍
擺動(dòng)角度范圍
[°]
擺動(dòng)中心高度
[mm]
承載能力Fz分
[N]
剛度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-40DC
40 x 40
XY軸：±6.5
Z軸：±3
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
±15
51
49.0 （5.0kgf）
4.6
1.03
TSD-40DS
40 x 40
XY軸：±6.5
Z軸：±3
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
±15
51
49.0 （5.0kgf）
4.6
1.03
TSD-60DC
60 x 60
XY軸：±6.5
Z軸：±5
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
±10
115
98.1 （10.0kgf）
1.5
4.03
TSD-60DS
60 x 60
XY軸：±6.5
Z軸：±5
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
±10
115
98.1 （10.0kgf）
1.5
4.03
特征：
5軸方向微調(diào)精密平臺(tái)。
由XY軸軸承鋼制平臺(tái)，Ｚ軸薄軸承鋼制平臺(tái)，θ軸粗微調(diào)轉(zhuǎn)動(dòng)平臺(tái)，小型α軸擺動(dòng)平臺(tái)，與α軸擺動(dòng)平臺(tái)組成。
型號(hào)末尾為DC的平臺(tái)的XY軸平臺(tái)的測(cè)微頭在中間，末尾為DS的平臺(tái)的XY軸平臺(tái)的測(cè)微頭在側(cè)面。
技術(shù)參數(shù)：
型號(hào)
臺(tái)面尺寸
[mm]
行程
[mm
轉(zhuǎn)動(dòng)范圍
擺動(dòng)角度范圍
[°]
擺動(dòng)中心高度
[mm]
承載能力Fz分
[N]
剛度Fy"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSD-40DC
40 x 40
XY軸：±6.5
Z軸：±3
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
±15
51
49.0 （5.0kgf）
4.6
1.03
TSD-40DS
40 x 40
XY軸：±6.5
Z軸：±3
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
±15
51
49.0 （5.0kgf）
4.6
1.03
TSD-60DC
60 x 60
XY軸：±6.5
Z軸：±5
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
±10
115
98.1 （10.0kgf）
1.5
4.03
TSD-60DS
60 x 60
XY軸：±6.5
Z軸：±5
粗調(diào)：360
微調(diào)：±5
±10
115
98.1 （10.0kgf）
1.5
4.03
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