特征:
平臺(tái)與Z軸連接板加工在一體的XYZ軸TSD不銹鋼直動(dòng)平臺(tái)。
其基本特性,如高剛性,高承載能力,優(yōu)異的直線性和精密定位性能等,和TSD直動(dòng)平臺(tái)一樣。
和一般鋼質(zhì)或鋁質(zhì)平臺(tái)相比,不銹鋼平臺(tái)有很多優(yōu)點(diǎn)。它強(qiáng)度非常好,經(jīng)久耐用,抗沖擊,耐磨損,適用于超凈工作區(qū)和真空環(huán)境。它們沒作表面處理,其不銹鋼測(cè)微頭和導(dǎo)軌部采用了硅基真空潤(rùn)滑脂。適用于空間窄,密封性高的場(chǎng)合。
'L型的Z軸的操作部位于上方,因此不受安裝方向的限制,具有很好的操作性能。
技術(shù)參數(shù):
型號(hào)
臺(tái)面尺寸
[mm]
行程
[mm]
螺距
移動(dòng)精度直線度
[mm]
最小讀數(shù)
[mm]
最小分辨率
[mm]
承載能力Fz'
[N]
最大承載力矩Fx'
[N¿m]
最大承載力矩Fθ'
[N¿m]
剛度Fx"
[arcsec/N¿cm]
自重
[kg]
TSDS-255CL
25 x 25
±3
0.5
0.002
0.01
0.003
9.8 (1.0kgf)
1
0.7
6.7
0.2
TSDS-255SL
25 x 25
±3
0.5
0.002
0.01
0.003
9.8 (1.0kgf)
1
0.7
6.7
0.2
TSDS-405CL
40 x 40
±6.5
0.5
0.002
0.01
0.003
19.6 (2.0kgf)
1.3
1.3
1.26
0.6
TSDS-405SL
40 x 40
±6.5
0.5
0.002
0.01
0.003
19.6 (2.0kgf)
1.3
1.3
1.26
0.6
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