特點與用途：
USHIO超高壓水銀燈管是在紫外線波長領(lǐng)域中、特別是有效的使用了3線（436nm、405nm、365nm)的具有長壽命、高穩(wěn)定性、高輝度光源。并且因Arc尺寸接近點光源，在光學(xué)系上光集中· 擴(kuò)散容易，故可得到均一的照度分布。
特點：
1、 具有以特定波長（g線、i線等）為波峰的輝線光譜。
2、發(fā)光體小、輝度高（接近點光源）。
用途：
1、 復(fù)寫機(jī)
2、晶圓曝光
3、晶圓周邊曝光
4、液晶曝光
5、印制基板曝光
7、MASK制作機(jī)
8、固化
9、UV接著
10、熒光顯微鏡
11、ESR分光光度計
12、紡絲照明裝置
13、玻璃傷檢查
14、晶圓傷檢查
規(guī)格如下:
USHIO超高壓水銀燈管是在紫外線波長領(lǐng)域中、特別是有效的使用了3線（436nm、405nm、365nm)的具有長壽命、高穩(wěn)定性、高輝度光源。并且因Arc尺寸接近點光源，在光學(xué)系上光集中· 擴(kuò)散容易，故可得到均一的照度分布。
特點：
1、 具有以特定波長（g線、i線等）為波峰的輝線光譜。
2、發(fā)光體小、輝度高（接近點光源）。
用途：
1、 復(fù)寫機(jī)
2、晶圓曝光
3、晶圓周邊曝光
4、液晶曝光
5、印制基板曝光
7、MASK制作機(jī)
8、固化
9、UV接著
10、熒光顯微鏡
11、ESR分光光度計
12、紡絲照明裝置
13、玻璃傷檢查
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