日本NIKON尼康 CNC視頻圖象坐標(biāo)測(cè)量?jī)x
NEXIV VMR-K3040ZC產(chǎn)品敘述:
這是一款共聚焦(Confocal)型的視頻圖象坐標(biāo)測(cè)量?jī)x，它能夠在同一視場(chǎng)內(nèi)，同時(shí)完成二維平面和一維高度的高精度測(cè)量。高速、高精度地檢測(cè)最先進(jìn)的IC封裝的立體形狀。
明場(chǎng)
共聚焦
合成效果
應(yīng)用領(lǐng)域：
硅片級(jí)芯片封裝(二維＋高度)、MEMS、Probe Card等。
特點(diǎn)
領(lǐng)先業(yè)界之非接觸式影像/Laser量測(cè)系統(tǒng)
新開發(fā)之大面積高度資訊探測(cè)功能分析應(yīng)用
高精度之高度量測(cè)
重複精度: 0.35um (with 3X and 2 σ)
測(cè)高速度: 1.5 sec (1 cycle time)
物鏡選擇
倍率
1.5x
3x
7.5x
工作距離(W.D.)
24mm
24mm
5mm
Confocal optics (測(cè)高範(fàn)圍)
最大測(cè)高距離
1mm
1mm
1mm
視野
8mm x 6mm
4mm x 3mm
1.6mm x 1.2mm
Z 軸重複性 (2σ)
0.6µm
0.35µm
0.25µm
NEXIV VMR-K3040ZC產(chǎn)品敘述:
這是一款共聚焦(Confocal)型的視頻圖象坐標(biāo)測(cè)量?jī)x，它能夠在同一視場(chǎng)內(nèi)，同時(shí)完成二維平面和一維高度的高精度測(cè)量。高速、高精度地檢測(cè)最先進(jìn)的IC封裝的立體形狀。
明場(chǎng)
共聚焦
合成效果
應(yīng)用領(lǐng)域：
硅片級(jí)芯片封裝(二維＋高度)、MEMS、Probe Card等。
特點(diǎn)
領(lǐng)先業(yè)界之非接觸式影像/Laser量測(cè)系統(tǒng)
新開發(fā)之大面積高度資訊探測(cè)功能分析應(yīng)用
高精度之高度量測(cè)
重複精度: 0.35um (with 3X and 2 σ)
測(cè)高速度: 1.5 sec (1 cycle time)
物鏡選擇
倍率
1.5x
3x
7.5x
工作距離(W.D.)
24mm
24mm
5mm
Confocal optics (測(cè)高範(fàn)圍)
最大測(cè)高距離
1mm
1mm
1mm
視野
8mm x 6mm
4mm x 3mm
1.6mm x 1.2mm
Z 軸重複性 (2σ)
0.6µm
0.35µm
0.25µm
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